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SRPS-QGA/BGA系列

高精度硅谐振压力传感器

产品简介

SRPS-QGA/BGA系列高精度硅谐振压力传感器,是澳门人巴黎人6123网站自主开发的一款高精度MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)压力传感器。硅谐振压力传感器是目前测量精度最高的压力传感器,因其具有精度高、稳定性好、准数字输出等优点,被广泛应用在航空大气数据测量系统、地面压力控制器和气象测量设备中。

传感器表芯中谐振结构采用音叉梁设计,其工作方式为面内振动,通过静电激励、电容检测的方式捕捉谐振频率,再结合闭环控制电路转化为频率信号输出。

SRPS-QGA/BGA系列高精度硅谐振压力传感器管壳为022Cr17Ni12Mo2(316L)不锈钢材质,并采用激光焊接工艺,可与多种规格的压力接口和电气接口连接,用户可根据其具体应用需求进行选择。


产品特点

1


技术指标

可选压力范围最大过载压力最大破坏压力压力类型可选补偿温度范围
140kPa3.0×F.S.3.5×F.S.绝压-10℃~50℃
280kPa1.5×F.S.2.0×F.S.-40℃~80℃
350kPa1.2×F.S.1.5×F.S.-55℃~85℃
1Mpa1.5×F.S.2.0×F.S.


可选综合精度长期稳定性响应时间起振时间
±0.01%F.S.提高级士0.01%F.S.压力从10%变化至90%F.S.时<25ms供电后250ms达到精度指标
±0.02%F.S.标准级士0.02%F.S.
±50.05%F.S.



加速度影响测量介质
<5Pa/g

干燥无腐蚀性气体(硅片裸露结构)

无腐蚀性气体、液体(充油隔离结构)


供电和输出
供电电压电流消耗输出输出范围
15V±0.5V30mA压力频率
35kHz~45kHz
温度频率
2kHz~7kHz
电压400mV~800mV
电压1000mV~1800mV
电压0~1500mV


输出形式:压力输出为方波频率信号,温度输出为电压信号或方波频率信号,方波电平为5VTTL


压力接口
A: M10×1外螺纹(hex22)

B: M12×1外螺纹(hex22)

C: M10×1外螺纹(60°内锥、hex22)

D: M12×1外螺纹(60°内锥、hex22)

E: M10×1外螺纹(60°内锥、hexl7)F: M12×1外螺纹(60°内锥、hex17)



电气接口

代码颜色定义含义
1
+15(V)+15V电源接线
2

FREQ频率
3

绿

TEMP+温度+
4

TEMP-温度-
5GND接地


型号外形尺寸重量
Aφ25mm×98mm58g
Bφ25mm×37mm

100g

Cφ25mm×44mm131g
Dφ25mm×51.5mm


注:不包含压力接口及电气接口。


外形尺寸

img

说明:所有尺寸的单位均为毫米。


选型代码

1

例如:SRPS-QGA-R1-TA-A1-S1-1A1A/SRPS-BGA-R1-TA-A1-S1-1A1A

注:
1、SRPS-QGA系列,电子器件选用全国产军用级;SRPS-BGA系列,电子器件选用工业级。
2、F-F即输出为压力频率-温度频率;F-V即输出为压力频率-温度电压。